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全新的MX12R半導體(tǐ)FPD檢查顯微鏡,大(dà)支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面闆的檢查,含 4、6、8、12英寸多種轉盤,可适用不同尺寸的晶圓檢查。人機工(gōng)程學設計全面提升,爲用戶提供更加舒适、靈活、快捷的操作體(tǐ)驗。
仰角可調觀察筒
0-35°觀察角度可調,适合不同身高的用戶,降低了對工(gōng)作環境的要求,讓不同的使用者都能找到*的觀察角度,減輕了長時間工(gōng)作帶來的不适與疲勞,大(dà)幅度提高工(gōng)作效率。
全新離(lí)合驅動式載物(wù)台
MX12R 采用離(lí)合式手柄,用戶按下(xià)離(lí)合扳手就可靈活移動平台,無需長時間捏緊手柄;按下(xià)離(lí)合按鈕,取消快速移動。避免長時間操作出現手麻現象,并加快觀察速度。 MX12R 引入精密導軌傳動機構,移動更輕更順暢,産品更加穩定可靠。
安全、高速的電動式物(wù)鏡轉換器
設有前進、後退兩檔切換模式,可快速、精确定位到所需要的觀察倍率,重複定位精度高。機械式的切換模式,有效提升了轉換器的使用壽命。
按鍵觸手可及,助您提高工(gōng)作效率
MX12R 物(wù)鏡與孔徑光闌采用全新的電動控制系統,其操作按鍵位于儀器正前方,讓您觸手可及。人性化的電動設計不僅避免了頻(pín)繁的手動操作步驟,也使您的檢測工(gōng)作也更加精确、靈活。
防震支架設計
機身由六端支架支撐,低重心、高穩定性全金屬機架,具備強效的抗震功能,确保像質穩定。
豐富的應用領域
MX12R 集成了明場、暗場、偏光、DIC 等多種觀察功能。 廣泛應用于半導體(tǐ)、FPD、電路封裝、電路基闆、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢測。
MX12R半導體(tǐ)FPD檢查顯微鏡主要參數:
光學系統 | 無限遠色差校正光學系統 |
觀察方式 | 明場/暗場/偏光/DIC |
觀察筒 | 無限遠鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調,正像,瞳距調節 :50-76mm,分(fēn)光比 100:0 或 0:100 |
目鏡 | 高眼點大(dà)視野平場目鏡 PL10X/25mm,視度可調,可帶單刻度十字分(fēn)劃版 |
物(wù)鏡 | 無限遠明暗場半複消金相 DIC 物(wù)鏡 5X 10X 20X 50X 100X |
無限遠長工(gōng)作距明暗場半複消金相 DIC 物(wù)鏡 20X | |
無限遠長工(gōng)作距明暗場半複消金相物(wù)鏡 50X 100X | |
轉換器 | 明暗場六孔電動轉換器,帶 DIC 插槽 |
機架組 | 反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下(xià)滑的調節松緊裝置和随機上限位裝置。内置 100-240V 寬電壓系統 |
透反機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 35mm,微調精度 0.001mm。帶有防止下(xià)滑的調節松緊裝置和随機上限位裝置。内置 100-240V 寬電壓系統 | |
載物(wù)台 | 右手位 14×12 英寸三層機械移動平台,低手位 X、Y 方向同軸調節 ;平台面積 718mmX420mm,移動範圍 :356mmX305mm |
帶離(lí)合器手柄,可用于全行程範圍内快速移動 ;玻璃載物(wù)台闆 ( 反射用) | |
電動平台 | 面積 495mmX641mm,移動範圍 :306mmX306mm ;軟件控制 X、Y 移動,重複定位精度,(3+L/50)μm 帶平闆平台 |
照明系統 | 明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌,視場光闌 , 中(zhōng)心均可調 ;帶明暗場照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影攝像附件 | 0.5X/0.65X/1X 攝像接筒,C 型接口,可調焦 |
其他 | 起偏鏡插闆,固定式檢偏鏡插闆,反射用幹涉濾色片組 ;高精度測微尺 ;DIC 組件 |
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