X熒光光譜儀主要由激發源（X射線管）和探測系統構成，适用于工(gōng)廠來料及制程控制中(zhōng)的有害物(wù)質檢測，鉛(Pb)、汞(Hg)、镉(Cr)、鉻(Cd)、溴(Br)、氯(Cl)控制的利器。無損檢測，可對電子電氣設備，玩具指令中(zhōng)的有害物(wù)質進行定性定量分(fēn)析。
X熒光光譜儀的優缺點介紹：
優點
a) 分(fēn)析速度快。測定用時與測定精密度有關，但一(yī)般都很短，10～300秒就可以測完樣品中(zhōng)的全部待測元素。
b) X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀态無關，而且跟固體(tǐ)、粉末、液體(tǐ)及晶質、非晶質等物(wù)質的狀态也基本上沒有關系。（氣體(tǐ)密封在容器内也可分(fēn)析）但是在高分(fēn)辨率的精密測定中(zhōng)卻可看到有波長變化等現象。特别是在超軟X射線範圍内，這種效應更爲顯著。波長變化用于化學位的測定 。
c) 非破壞分(fēn)析。在測定中(zhōng)不會引起化學狀态的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一(yī)試樣可反複多次測量，結果重現性好。
d) X射線熒光分(fēn)析是一(yī)種物(wù)理分(fēn)析方法，所以對在化學性質上屬同一(yī)族的元素也能進行分(fēn)析。
e) 分(fēn)析精密度高。目前含量測定已經達到ppm級别。
f) 制樣簡單，固體(tǐ)、粉末、液體(tǐ)樣品等都可以進行分(fēn)析。
缺點
a） 定量分(fēn)析需要标樣。
b）對輕元素的靈敏度要低一(yī)些。
c）容易受元素相互幹擾和疊加峰影響。
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