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Phenom ProX是第五代電鏡能譜一(yī)體(tǐ)機，是*的集成化成像分(fēn)析系統，分(fēn)辨率提升 20%，進一(yī)步增加應用範圍，更加适用于對電子束敏感的樣品。借助該系統，既可觀察樣品的表面形貌，又(yòu)可分(fēn)析其元素組分(fēn)。研究樣品時，得到樣品的形貌信息隻是解決了一(yī)半問題。獲得樣品的元素組分(fēn)信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊設計的能譜探測器，飛納電鏡能譜一(yī)體(tǐ)機 Phenom ProX 可以完善解決上述所有問題。能譜儀是一(yī)種基于樣品被電子束激發而産生(shēng) X 射線的分(fēn)析儀器。Phenom 的能譜儀無論軟件、硬件都是*集成設計在飛納 Phenom ProX 系統中(zhōng)。Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實現多點分(fēn)析，檢測樣品的元素組分(fēn)。此外(wài)，該軟件還可以擴展到元素分(fēn)析線面掃（mapping）功能。分(fēn)步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導出分(fēn)析數據。
| Phenom Pro | Phenom ProX | Phenom XL | |
| 光學放(fàng)大(dà) | 20 - 135 X | 20 - 135 X | 3 - 16 X |
| 電子光學放(fàng)大(dà) | 80 - 150,000 X | 80 - 150,000 X | 80 - 100,000 X |
| 分(fēn)辨率 | 優于 8 nm | 優于 8 nm | 優于 14 nm |
| 數字放(fàng)大(dà) | Max. 12 X | Max. 12 X | Max. 12 X |
| 光學導航相機 | 彩色 | 彩色 | 彩色 |
| 加速電壓 | 5 Kv - 15 Kv 連續可調 | 5 Kv - 15 Kv 連續可調 | 5 Kv - 20 Kv 連續可調 |
| 真空模式 | 高分(fēn)辨率模式 | 高分(fēn)辨率模式 | 高分(fēn)辨率模式 |
| 降低荷電效應模式 | 降低荷電效應模式 | 降低荷電效應模式 | |
| 高真空模式 | |||
| 探測器 | 背散射電子探測器 | 背散射電子探測器 | 背散射電子探測器 |
| 二次電子探測器 (選配) | 二次電子探測器 (選配) | 二次電子探測器 (選配) | |
| 樣品尺寸 | 大(dà)直徑 32 mm (Ø) | 大(dà)直徑 32 mm (Ø) | 大(dà) 100 mm X 100 mm |
| 可同時裝載 36 個 0.5 英寸樣品台 | |||
| 樣品高度 | 高 100 mm | 高 100 mm | 高 65 mm |
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